Рентгенофлуоресцентный толщиномер серии M представляет собой высокопроизводительное устройство для измерения толщины гальванических покрытий на мельчайших деталях. Благодаря поликапиллярной оптике, которая является более продвинутой по сравнению с серией O, рентгеновский луч фокусируется до размера 7,5 мкм FWHM.
Для достижения точности в таком масштабе используется видеокамера с 140-кратным увеличением и дополнительным высоким цифровым увеличением. Большее увеличение ограничивает поле зрения, поэтому вторая камера предоставляет макроизображение анализируемой детали. Двухкамерная система позволяет операторам толщиномера серии M полностью охватить деталь взглядом, масштабировать изображение для детального просмотра с помощью макрокамеры и точно определить места для измерения.
Используется высокоточный программируемый X-Y столик для выбора и измерения множества точек, а программное обеспечение для распознавания образов автоматизирует этот процесс. Система двумерного картирования обеспечивает визуализацию топографии покрытия на поверхности детали, например, на кремниевой пластине. Стандартная конфигурация включает в себя 7,5 мкм оптику и SDD-детектор высокого разрешения, способный обработать большие скорости подсчета. Комплектация также предусматривает программируемый X-Y столик. Оптическая система обладает близким фокусным расстоянием, требуя плоскости измеряемых образцов. Теперь доступна модификация с моторизированным столиком увеличенного размера.
Толщиномеры серии M идеально подходят для клиентов, которым необходимо работать с очень мелкими деталями, такими как: полупроводники, разъемы или печатные платы, требующие тестирования большого количества точек на одном образце. Справляется легко с измерениями крайне тонких покрытий (<100 нм), обеспечивает короткое время измерения (1-5 секунд), соблюдая международные стандарты и повышает производительность и эффективность.
| Диапазон определяемых элементов | от Al13 до U92 |
| Трубка | 50 Вт Mo анод с капиллярной оптикой 15 мкм |
| Детектор | SDD |
| Количество анализируемых слоев и элементов | 5 слоев (4 слоя покрытия+ основание) до 10 элементов в каждом слое, до 25 элементов одновременно |
| Фильтры/коллиматоры | 4 фильтра |
| Фокусное расстояние | Фиксированное (1.27 mm) |
| Управляющий ПК | на базе ОС Windows 10 prof. (или выше), подключение к анализатору 1 USB, не требует специализированного оснащения |
| Видео камера | 1/4″ (6 мм) CMOS- 1280×720 VGA разрешение, 250х (две камеры) или 45х (одна камера) |
| Увеличение | 140х оптическое и 7х цифровое, 9х оптическое |
| Вес | 70 кг |
| Моторизированный столик | 431 мм х 406 мм с перемещением 165 мм х 165 мм |
| Моторизированный столик (увеличенный) | по запросу |
| Внутренние размеры измерительной камеры | Высота: 137 мм, Ширина: 310 мм, Глубина: 340 мм |
| Габаритные размеры | Высота: 500 мм, Ширина: 450 мм, Глубина: 600 мм |
