Серия W представляет собой рентгенофлуоресцентный толщиномер с поликапиллярной фокусирующей оптикой рентгеновского луча до 7,5 мкм, устанавливающий мировой рекорд минимального размера места измерения для анализа толщины покрытия методом рентгенофлуоресценции. Благодаря этому, толщиномер W идеален для точного измерения на таких объектах, как полупроводниковые пластины и печатные платы.
Для детального анализа на столь малых масштабах применяется видеокамера с 140-кратным увеличением, дополненная вторичной камерой для макросъемки и реального времени обзора образцов. Эта двухкамерная система позволяет операторам толщиномера серии W охватывать всю деталь взглядом, увеличивать нужные участки для точной настройки программирования анализа.
Использование программированного X-Y столика с точностью менее +/- 1 мкм по каждой оси дает возможность выбирать и измерять множество точек автоматически, что вместе с программным обеспечением Bowman для распознавания образов и автофокусировки существенно упрощает процесс. Функция трехмерного картирования поверхности образца позволяет визуализировать топографию покрытия, например, на кремниевой пластине.
Стандартная комплектация толщиномеров серии W включает оптику 7,5 мкм, рентгеновскую трубку с молибденовым анодом (опционально хром и вольфрам) и высокоразрешающий кремниевый дрейфовый детектор SDD с большим рабочим окном, способный обрабатывать свыше 2 миллионов отсчетов в секунду.
Толщиномеры серии W, являющиеся седьмой моделью в линейке рентгенофлуоресцентных толщиномеров Bowman, могут одновременно анализировать до 5 слоев покрытия, используя передовое программное обеспечение Xralizer для количественной оценки толщины и состава покрытия на основе флуоресцентного излучения. Xralizer объединяет интуитивно понятные визуальные элементы управления с функциями для экономии времени, упрощая создание пользователем новых приложений.
Толщиномеры серии W наиболее подходят для клиентов, которым необходимо тестирование полупроводниковых пластин, выводных рамок, печатных плат, автоматизация тестирования большого количества образцов, измерение очень тонких покрытий (<100 нм), быстрое время измерения (1-5 секунд), а также соответствие международным стандартам качества и производительности.
| Диапазон определяемых элементов | от Al13 до U92 |
| Трубка | 50 Вт Mo анод с капиллярной оптикой 7,5 мкм. (анод Cr или W — опция) |
| Детектор | SDD |
| Количество анализируемых слоев и элементов | 5 слоев (4 слоя покрытия+ основание) до 10 элементов в каждом слое, до 25 элементов одновременно |
| Фильтры/коллиматоры | 4 фильтра |
| Фокусное расстояние | Фиксированное |
| Управляющий ПК | на базе ОС Windows 10 prof. (или выше), подключение к анализатору 1 USB, не требует специализированного оснащения |
| Видео камера | 1/4″ (6 мм) CMOS- 1280×720 VGA разрешение, 250х (две камеры) или 45х (одна камера) |
| Увеличение | 140х оптическое и 7х цифровое, 9х опическое (макро вид) |
| Вес | 190 кг |
| Моторизированный столик | XYZ перемещение: 300 мм х 400 мм х 100 мм XY столик 305 мм х 406 мм |
| Моторизированный столик (увеличенный) | по запросу |
| Внутренние размеры измерительной камеры | Высота: 100 мм, Ширина: 914 мм, Глубина: 735 мм |
| Габаритные размеры | Высота: 787 мм, Ширина: 940 мм, Глубина: 990 мм |
