Микроскопы модели Leica DM8000 / DM12000 разработаны для проведения исследований в области микроэлектроники, в том числе для изучения кремниевых пластин. Доступна модификация, которая предназначена для использования в помещениях с повышенной степенью чистоты.
Помимо стандартного светодиодного источника белого света с длиной волны 530 мм есть возможность проводить исследование с ультрафиолетовым освещением. Благодаря этому разрешающая способность микроскопа увеличивается в 1,5 раза в сравнении с классическими моделями. Кроме того, доступно инфракрасное освещение, которое необходимо для проведения исследований кремниевых пластин.
Устройство имеет моторизированный столик, который может двигаться по двум осям. В зависимости от модели его ход составляет 20,2 или 30,2 мм. При этом точность позиционирования составляет в пределах 5 мкм.
Конструкция микроскопа предусматривает упрощенный процесс изменения условий исследования. У устройства моторизированы сразу три компонента:
Ход предметного столика по XY | 202х202 мм или 302х302 мм c точностью до 5 мкм |
Ход фокусировки по Z | 35 мм |
Источники освещения | светодиодные белый (530 нм) и ультрафиолетовый (365 нм) |
Моторизованный компоненты | турель методов контрастирования, турель объективов, привод фокусировки, предметный столик |