Leica DM3 XL – это микроскоп для контроля качества изготовленных кремниевых пластин на предприятиях по производству микроэлектроники. С его помощью можно изучать и обнаруживать дефекты в других микроэлектронных компонентах. Он устанавливается в научных лабораториях и отделах по контролю за качеством.
Прибор имеет простую конструкцию и повышенную надежность. На предметном столике можно закрепить пластину диаметром до 15 см. Столик способен перемещаться по двум осям на расстояние до 15 см. Ход фокусировки оптической системы по вертикали составляет 25 мм.
Основные режимы работы – отраженный и проходящий свет, однако можно включить дополнительный режим косого освещения с целью изучения топографии образца. Источником света является светодиод белого цвета, который не искажает цвета исследуемого образца.
Этот микроскоп позволяет увеличивать изображение объекта в пределах от 7 до 3000х. Установлен револьверный механизм крепления и смены используемых объективов. Доступны несколько методов контрастирования: исследование в белом и темном поле, поляризация, дифференциально-интерференционный.
| Увеличение | от 7 крат до 3000 крат |
| Режим работы | отраженный и проходящий свет |
| Методы контрастирования | светлое поле, темное поле, поляризация, дифференциально-интерференционный контраст, косое освещение |
| Ход предметного столика по XY | 150 х 150 мм |
| Ход фокусировки по Z | 25 мм |
| Источник освещения | светодиодный белый |
